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???? ????? ?? ??: 400mm (X) * 300mm (Y)? 100mm * 80mm
???? ????? ?????: ±0.03mm ±0.01mm
???? ????? ???: ＜3s
???? ????? ???????: 1,310,000/3,000,000/5,000,000
?????? ?????? ???? ??????: GPD/STL/ASC/IGS/WRL ??????
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